С административной точки зрения уезд делится на 4 полицейских округа (стана): Жупраны, Сморгонь, Девянишки и Воложин; 2 мировых округа по крестьянским делам: Ошмяны и Полочаны; 4 военно-призывных участка: Ошмяны, Сморгонь, Суботники и Воложин; 3 участка судебных следователей, с управами в Ошмянах, Гольшанах и Сморгони, а также 4 участка мировых судей, а именно 4-ый участок Лидского округа для 8 волостей и три участка Сморгоньского округа для оставшихся.

Далее уезд делится на 23 волости: Поляны, Солы, Гольшаны, Граужишки, Куцевичи (в 1 полицейском округе); Сморгонь, Беница, Полочаны и Городьки (во 2 полицейском округе); Девянишки, Суботники, Липнишки, Седлиско, Ивье, Лугомовичи, Трабы, Юратишки (в 3 полицейском округе); Воложин, Вишнев (Вишнево), Налибоки, Деревная и Бакшты (в 4 полицейском округе).

Эти волости охватывают 142 сельских округи (староства), 1 353 деревни и иных населённых мест и 12 430 хат. В уезде находятся следующие местечки: в 1 полицейском округе - Слободка, Жупраны, Солы, Гольшаны, Мурованая Ошмянка, Боруны и Граужишки; во 2 полицейском округе - Засковичи, Беница, Сморгонь и Крево; в 3 полицейском округе - Суботники, Липнишки, Конвалишки, Геранёны, Германишки, Девянишки, Трокели, Ивье, Миколаево, Дуды, Лаздуны, Трабы, Сурвилишки и Юратишки; в 4 округе - Воложин, Вишнево, Словенск, Забрезье, Деревная и Налибоки.

В 1859 г. в уезде было 128 666 жителей (60 515 мужчин и 63 547 женщин), в 1871 г. 142 688 чел.; в 1875 г. 152 261 чел.; в 1878 г. 156 218 чел.

В 1859 г. в уезде было 27 394 православных белорусов, 20 650 поляков католиков, 162 571 литвинов католиков и 2 527 православных литвинов.

В 1880 г. в Ошмянах было 5 050 жителей, в том числе по вероисповеданию: 352 православных, 2 175 католиков, евангелистов 3, евреев 2 501 и 18 магометан.

В том же году в уезде (кроме г. Ошмяны) было 162 285 жителей, в том числе по вероисповеданию: 50 440 православных, 891 раскольников, католиков 99 020, евангелистов 162, евреев 11 131 и магометан 641.

В 1880 г. в уезде (кроме г. Ошмяны) в разрезе сословий проживало: 5 749 шляхты, 287 духовных служителей различных конфессий, 69 почётных граждан, 22 827 мещан, 128 011 крестьян, 5 084 военных, 220 иностранцев и 38 не причисленных ни к одному из перечисленных сословий.

Население смешанное из литвинов и белорусов; язык большинства жителей - переходный от польского к беларускому, с примесью литовских слов.

С церковной точки зрения Ошмянский уезд делится на два православных благочиния (деканата) - Ошмянское и Воложинское, первое из которых объединяет 14 парафий: Ошмяны, Сморгонь (две: Преображения Господня и св. Михаила), Беница, Крево (две: св. Троицы и св. Александра Невского), Залесье, Лоск, Гольшаны, Трабы, Цытин, Юратишки, Сутьково, Михайловщина. Имеет 14 парафиальных церквей, 8 филиальных, 9 кладбищенских, 4 каплицы и 23 392 прихожан (11 693 мужчин и 11 699 женщин).

Воложинское благочиние имеет 12 парафий: Воложин (две: св. Иосифа и св. Константина), Вишнево, Забрезье, Миколаево, Словенск, Дубина, Городилово, Груздово, Довбени, Бакшты и Городьки, с 12 парафиальными церквями, 3 филиальными, 6 кладбищенскими, 3 каплицами и насчитывает 27 400 прихожан (13 515 мужчин и 13 885 женщин). В целом по уезду имеется 52 церкви и 7 каплиц.

Ошмянский уезд имеет также два католических деканата: Ошмянский и Вишневский. Ошмянский деканат охватывает 6 парафий: Ошмяны, с каплицами в Олянах, Городниках и Полянах (8 040 прихожан); Гольшаны, с филиалом в Богданове и каплицей в Гольшанах (8 457 прихожан); Солы, с филиалом в Даукшишках и каплицами в Солах, Слободке, Рачунах, Пронюнах и Гудогае (8 591 прихожан); Граужишки (3 013 прихожан); Жупраны, с каплицей там же (5 030 прихожан) и Мурованая Ошмянка (4 309 прихожан), вместе 37 440 прихожан. До этого были ещё парафии: Сморгонь, Крево и Беница. Вишневский деканат охватывает 12 парафий: Вишнево, с кладбищенской каплицей (4 877 прихожан); Геранёны, с филиалом в Девянишках и каплицей в Берковщине (7 421 прихожан); Груздово-Оборек, с каплицами в Холхлове, Черневе и на погребальном кладбище (3 312 прихожан); Деревная (4 842 прихожан); Ивье, с филиалом в Дудах и каплицами в Ятолтовичах и на погребальном кладбище (11 460 прихожан); Конвелишки, с каплицей в Стоках (2 525 прихожан); Липнишки, с каплицей в Зыгмунтишках (5 900 прихожан); Налибоки (4 344 прихожан); Суботники, с филиалом в Лаздунах и каплицей в Квятковцах (9 545 прихожан); Сурвилишки, с каплицей в Клевицах (3 041 прихожан); Трабы, с каплицами в Янцевичах и на погребальном кладбище (3 952 прихожан) и Забрезье, с каплицей в Рожеславе (3 891 прихожан), в общем 65 110 прихожан. Кроме этого ранее были костельные парафии: в Лоске, Воложине и Городилове.

Маршалками Ошмянского уезда перед разделом были (в алфавитном порядке): Волян Александр, Волян Томаш герба Лис (1632-38), Зенович Криштоф герба собственного (1697-1701), Зенович Ян с Братошина Дешпот (1648), Коцелл Самуэль Героним герба Пеликан (1683), Оскерко Мартин герба Мурдэлио (1765-86), Пшездецкий Николай Владислав (1672-73), Стаховский Криштоф герба Огоньчик, Сулистровский Антоний герба Любич (1747-50), Хоминский Людвик Якуб герба Порай (1717-24), Храповицкий Николай герба Гоздава, Шорс Николай Криштоф герба Мора (1637).

После раздела Речи Посполитой маршалками были: Ахматович Н. (1863), Брохоцкий герба Осория (1862), Чехович Казимир герба Остоя (1825), Дмоховский Аурелиан герба Побуг (1808), Фельдман Казимир, Любанский Ян герба Порай (1853), Позьняк Францишек герба Бэлты (1798, 1810), Пшецишевский Адам герба Гжимала (1805, 1807), Пусловский Владислав герба Шелига изм., Сулистровский Юзеф герба Любич (1846), граф Тышкевич Юзеф герба Лелива (1831), Тюфяев Александр (1871), Умястовский Томаш герба Рох, Умястовский Якуб (1809), Умястовский Константин (1858), Умястовский Казимир, Важинский Мартин Скарбек герба Абданк (1820), Важинский Эдвард (1840), Жаба Игнатий герба Косцеша (1811), Жаба Антоний (1812).