Pod względem administracyjnym powiat dzieli się na 4 okręgi policyjne (stany): Żuprany, Smorgonie, Dziewieniszki i Wołożyn; 2 okręgi pokoju do spraw włościan: Oszmiana i Połoczany; 4 rewiry do odbycia powinności wojskowej: Oszmiana, Smorgonie, Subotniki i Wołożyn; 3 rewiry inkwirentów sądowych, z biurami w Oszmianie, Holszanach i Smorgoni, oraz 4 rewiry sądów pokoju, mianowicie 4-ty rewir okręgu lidzkiego dla 8 gmin i trzy rewiry okręgu smorgońskiego dla pozostałych gmin.

Dalej powiat dzieli się na 23 gminy: Polany, Soły, Holszany, Graużyszki, Kucewicze (w 1 okręgu policyjnym); Smorgonie, Bienica, Połoczany i Horodźki (w 2 okręgu policyjnym); Dziewieniszki, Subotniki, Lipniszki, Siedliszcze (Siedlisko), Iwie, Ługomowicze, Traby, Juraciszki (w 3 okręgu policyjnym); Wołożyn, Wiszniów (Wiszniewo), Naliboki, Derewno i Bakszty (w 4 okręgu policyjnym).

Gminy te obejmują 142 okręgi wiejskie (starostwa), 1 353 wsi i innych miejsc zamieszkałych i 12 430 chat. W powiecie znajdują się następujące miasteczka: w 1 okręgu policyjnym - Słobódka, Żuprany, Soły, Holszany, Oszmianka Murowana, Boruny i Graużyszki; w 2 okręgu policyjnym - Zaśkiewicze, Bienica, Smorgonie i Krewo; w 3 okręgu policyjnym - Subotniki, Lipniszki, Konwaliszki, Gieranony, Hermaniszki, Dziewieniszki, Trokiele, Iwie, Mikołajów, Dudy, Łazduny, Traby, Surwiliszki i Juraciszki; w 4 okręgu - Wołożyn, Wiszniewo, Słowieńsk, Zabrzeź, Derewno i Naliboki.

W 1859 r. było w powiecie 128 666 mieszkańców (mk.) (60 515 męż. i 63 547 kob.), w 1871 r. 142 688 mk.; w 1875 r. 152 261 mk.; w 1878 r. 156 218 mk.

W 1859 r. było w powiecie 27 394 Białorusinów prawosławnych, 20 650 Polaków katolików, 162 571 Litwinów katolików i 2 527 Litwinów prawosławnych.

W 1880 r. było w Oszmianie 5 050 mieszkańców, w tej liczbie podług wyznań 352 prawosławnych, 2 175 katolików, ewangelików 3, żydów 2 501 i 18 mahometanów.

W tym że roku było w powiecie (oprocz mta Oszmiana) 162 285 mieszkańców, w tej liczbie podług zaś wyznań 50 440 prawosławnych, 891 rozkolników, katolików 99 020, ewangelików 162, żydów 11 131 i mahometanów 641.

W 1880 r. było w powiecie (oprocz miasta Oszmiana) podług stanów: 5 749 szlachty, 287 duchownych wszystkich wyznań, 69 obywateli honorowych, 22 827 mieszczan, 128 011 włościan, 5 084 stanu wojskowego, 220 cudzoziemców i 38 niezaliczonych do żadnego z powyższych stanów.

Ludność jest mieszana z Litwinów i Białorusinów; język przeważnej części mieszkańców stanowi przejście od polskiego do białoruskiego, z domieszką wyrazów litewskich.

Pod względem kościelnym powiat oszmiański podzielony jest na dwa dekanaty (błahoczynia) prawosławne - oszmiański i wołożyński, z których pierwszy obejmuje 14 parafii: Oszmiana, Smorgonie (dwie: Przemienienia Pańskiego i św. Michała), Bienica, Krewo (dwie: św. Trójcy i św. Aleksandra Newskiego), Zalesie, Łosk, Holszany, Traby, Cycin, Juraciszki, Sutkowo, Michałowszczyzna. Ma on 14 cerkwi parafialnych, 8 filialnych, 9 cmentarnych, 4 kaplice i 23 392 wiernych (11 693 męż. i 11 699 kob.).

Dekanat wołożyński ma 12 parafij: Wołożyn (dwie: św. Józefa i św. Konstantego), Wiszniewo, Zabrzezie, Mikołajów, Słowieńsk, Dubina, Horodziłów, Hruzdów, Doubienie, Bakszty i Horodźki, z 12 cerkwiami parafialnymi, 3 filialnymi, 6 cmentarnemi, 3 kaplicami i liczy 27 400 wiernych (13 515 męż. i 13 885 kob.). W ogóle w powiecie jest 52 cerkwi i 7 kaplic.

Powiat oszmiański ma również dwa dekanaty katolickie: oszmiański i wiszniewski. Dekanat oszmiański obejmuje 6 parafij: Oszmiana, z kaplicami w Olanach, Horodnikach i Polanach (8 040 wiernych); Holszany z filią w Bohdanowie i kaplicą w Holszanach (8 457 wiernych); Soły, z filią w Daukszyszkach i kaplicami w Sołach, Słobódka, Raczuny, Proniuny i Gudogaje (8 591 wiernych); Graużyszki (3 013 wiernych); Żuprany, z kaplicami w Żupranach (5 030 wiernych) i Oszmianka Murowana (4 309 wiernych), razem 37 440 wiernych. Poprzednio były jeszcze parafie: Smorgonie, Krewo i Bienica. Dekanat wiszniewski obejmuje 12 parafii: Wiszniów, z kaplicą cmentarną (4 877 wiernych); Gieranony, z filią w Dziewieniszkach i kaplicą w Berkowszczyźnie (7 421 wiernych); Hruzdowo-Oborek, z kaplicami w Chołchłow, Czernowo i na cmentarzu grzebowym (3 312 wiernych); Derewna (4 842 wiernych); Iwie, z filią Dudy i kaplicami w Jatołtowicze i na cmentarzu grzebalnym (11 460 wiernych); Konwaliszki, z kaplicą w Stoki (2 525 wiernych); Lipniszki, z kaplicą w Zygmunciszki (5 900 wiernych); Naliboki (4 344 wiernych); Subotniki, z filią Łazduny i kaplicą w Kwiatkowce (9 545 wiernych); Surwiliszki, z kaplicą w Klewicy (3 041 wiernych); Traby, z kaplicami w Jancewicze i na cmentarzu grzebowym (3 952 wiernych) i Zabrzezie, z kaplicą w Rożesławie (3 891 wiernych), w ogóle 65 110 wiernych. Poprzednio były oprocz tego kościelne parafii: w Łosku, Wołożynie i Horodziłowie.

Marszałkami powiatu oszmiańskiego przed rozbiorem byli (w porządku alfabetycznym): Chomiński Ludwik Jakub h. Poraj (1717-24), Chrapowicki Mikołaj h. Gozdawa, Kociełł Samuel Hieronim h. Pelikan (1683), Oskierko Marcin h. Murdelio (1765-86), Przeździecki Mikołaj Władysław (1672-73), Szors Mikołaj Krzysztof h. Mora (1637), Sulistrowski Antoni h. Lubicz (1747-50), Stachowski Krzysztof h. Ogończyk, Wolan Tomasz h. Lis (1632-38), Wolan Aleksander, Zenowicz Jan z Bratoszyna Deszpot (1648), Zenowicz Krzysztof h. własnego (1697-1701).

Po rozbiorze Rzpltej marszałkowali: Achmatowicz N. (1863), Brochocki h. Osorya (1862), Czechowicz Kazimierz h. Ostoja (1825), Dmochowski Aurelian h. Pobóg (1808), Feldman Kazimierz, Lubański Jan h. Poraj (1853), Poźniak Franciszek h. Bełty (1798, 1810), Przeciszewski Adam h. Grzymała (1805, 1807), Pusłowski Władysław h. Szeliga z odmianą, Sulistrowski Józef h. Lubicz (1846), hr. Tyszkiewicz Józef h. Leliwa (1831), Tiufiajew Aleksander (1871), Umiastowski Tomasz h. Roch, Umiastowski Jakub (1809), Umiastowski Konstanty (1858), Umiastowski Kazimierz, Ważyński Marcin Skarbek h. Abdank (1820), Ważyński Edward (1840), Żaba Ignacy h. Kościesza (1811), Żaba Antoni (1812).