Pod względem administracyjnym powiat dzieli się na 3 okręgi policyjne (stany), z siedzibami w Mołodecznie, Dołhinowie i Duniłowiczach i 26 gmin: Choteńczyce, Hermaniszki, Horodek, Krasnesioło, Lebiedziew, Mołodeczno, Radoszkowicze i Wiazyń w 1 okrągu policyjnym; Budsław, Dołhinów, Iża, Kniahinin, Krajsk, Krzywicze, Kurzeniec, Rabuń i Wilejka w 2 okrągu policyjnym; Duniłowicze, Łuczaj, Mańkowicze, Miadzioł, Norzyca, Parafianowo, Porpliszcze, Wołkołata i Żośno w 3 okrągu policyjnym.

Pod względem sądowym w powiecie jest 3 inkwirentów sądowych (w Wilejce, Duniłowiczach i Radoszkowiczach), oraz 4 sądy pokoju: 4 rewir sądu okrągu dziesieńskiego, 4 rewir sądu okrągu święciańskiego oraz 4 i 5 rewiry sądu okrągu smorgońskiego.

Oprócz miasta powiatowego było w powiecie 1 miasto nadetatowe (Radoszkowicze), 20 miasteczek (Horodek, Ilia, Krasne, Liebiedziew, Markowo, Mołodeczno i Wiazyń w 1 okrągu policyjnym; Budsław, Dołhinów, Krajsk, Krzywicze, Kurzeniec i Rzeczki w 2 okrągu policyjnym; Duniłowicze, Mańkowicze, Miadzioł Stary i Nowy, Parfianowo, Wołkołata i Zadziew w 3 okrągu policyjnym) i 1 244 wsi i drobniejszych osad, mających w ogóle 10 335 dymów.

W roku 1880 było w powiecie (bez miasta, które w t.r. liczyło 3 450 mieszkańców) 148 585 mieszkańców, w tej liczbie 90 434 prawosławnych, 44 482 katolików, 523 rozkolników, 127 ewangelików augsburskich, 3 ewangelików reformowanych, 12 744 żydów, 272 mahometan; podług stanów zaś 3 848 szlachty, 410 stanu duchownego, 217 obywatelów honorowych, 17 489 mieszczan, 120 051 włościan, 6 475 stanu wojskowego, 63 cudzoziemców, 34 innych stanów.

W roku 1857 było 116 753 mieszkańców, w tej liczbie (podług Stołpianskiego): 48 808 Białorusinów (46 199 prawosławnych, 2 609 katolików), 5 266 Wielkorusów, 30 746 Litwinów (1 820 prawosławnych, 28 926 katolików), 24 092 Polaków, 6 848 Żydów, 303 Tatarzów.

Kościoł prawosławny obejmuje 3 dekanaty (błagoczynia): wilejski, miadziolski i mołodeczniański, 41 cerkwi parafialnych, 15 filialnych, 45 cmentarnych i 7 kaplic. Dekanat (błagoczynie) wilejski obejmuje 14 parafii: Wilejka, Dołhinów, Gnieździłowo, Iża, Kamieniec Spaski, Kasuta, Kniahinin, Krajsk, Krzywicze, Kurzeniec, Narocz, Rabuń, Rzeczki, Uźlany, 14 cerkwi parafialnych, 3 filialnych, 18 cmentarnych i 3 kaplice; 32 330 wiernych.

Kościoł katolicki należą do 2 dekanatów: wilejskiego i nadwilejskiego, diecezji wileńskiej. Dekanat wilejski obejmuje 7 parafii: Budsław, Dołhinów, Kościeniewicze, Lebiedziew, Olkowicze i Radoszkowicze (dawniej jeszcze 7: Chołchła, Chożów, Ilja, Krasnesioło, Kurzeniec, Mołodeczno i Spas), razem 7 kościołów parafialnych, 6 filialnych i 14 kaplic; 23 579 wiernych. Dekanat nadwilejski składa się również z 7 parafii: Duniłowicze, Łuczaj, Miadzioł, Parafianowo, Postawy, Wołkołata i Zadziew, 7 kościołów parafialnych, 1 filialny, 15 kaplic, 34 444 wiernych.

Wilejski powiat utworzony w roku 1795 z powiatu zawilejskiego (z miastem centralnem Postawy) i części powiatu oszmiańskiego województwa wileńskiego dawnego Wielkiego Księstwa Litewskiego.

Marszałkami powiatu byli: Wołodkowicz Jan Ludwik h. Radwan (1796-1800), Wołodkowicz Józef, Giecewicz Hipolit h. Leliwa (1807-09), Karnicki Kazimierz h. Syrokomla (1807-12), Wołodkowicz Melchior (1817-20), Oskierko Jan h. Murdelio (1820), Bohdanowicz Onufry h. Mogiła (1822), Lubański Jan h. Poraj (1825), Domejko Aleksander (1833), Lubański Zenon (1846-53), Tukałło Mieczysław (1854-59), Śnitko Konstanty (1863), Cywiński Cypryan h. Puchała (1877-81).